自动平衡气垫精密光学平台
工作原理:平台的每一个气腿上有一个定位开关,当平台低于开关时,阀门打开气泵开始充气。当
平台高于定位开关时,阀门打开气腿自动放气。
气垫隔振平台外形尺寸
1200×800×800mm
1500×1000×800mm
1800×1000×800mm
1800×1200×800mm
2000×1200×800mm
2400×1200×800mm
气垫隔振平台性能
平面粗糙度不大于0.8um
平面度不大于0.05mm/㎡
振幅不大于3um
固有频率不大于3Hz
台面可调精度为0.2mm
M6安装螺孔间距25×25mm或50×50mm
平台表面材质采用高导磁不锈钢板面
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