气垫精密光学平台 主要特点:利用蜂窝结构达到隔振效。隔振基础采用二层气囊隔离,在各个方向上都提供了优异的减振性能,减振器自身振动频率低。使隔振效果达到 佳。
气垫精密光学平台 外形尺寸:
1200×800×800mm
1500×1000×800mm
1800×1000×800mm
1800×1200×800mm
2000×1200×800mm
2400×1200×800mm
平台性能
平面粗糙度不大于0.8um
平面度不大于0.05mm/㎡
振幅不大于3um
M6安装螺孔间距25×25mm或50×50mm
平台表面材质采用高导磁不锈钢板面
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